渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標準。轉(zhuǎn)速高達 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達 10-11 mbar 的真空度。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動能，當轉(zhuǎn)子和定子相觸，動能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實際的雙重檢驗。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認證。除機械安全性能外，該認證同時也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護，這向認證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶利益

真空對于整個生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達數(shù)百萬歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來越重要。如今，渦輪泵的工作時間常高達十萬小時以上。在這段時間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護或服務(wù)作業(yè)而造成的計劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場更換軸承或機油的特點。結(jié)合該特點，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進的驅(qū)動技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護等級 IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進：一臺抽速達 250 l/s 的渦輪泵，其重量僅為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
 

應(yīng)用范圍覆蓋多個領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

光學/玻璃行業(yè)（隔熱保護、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測（真空系統(tǒng)、機車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

HiPace? 800

具有 790 l/s 對于 N2 抽吸能力的緊湊結(jié)構(gòu)的較高真空功率

產(chǎn)品描述

對于重氣體同樣擁有高氣體通過量

準 S2 和 UL/CSA 認證

運行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運行安全性

適用于輕氣體和重氣體的高抽吸能力

高工藝適用性，防止進入顆粒

標準

對于所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮

適合所有標準應(yīng)用

方法

工藝過程適宜，耐灰塵

理想適用于涂層及半導(dǎo)體工藝以及諸如電子束焊接裝置等易受灰塵影響的工業(yè)應(yīng)用

HiPace? 800，具有 TC 400，DN 200 ISO-K

集成型驅(qū)動電子設(shè)備 TC 400

用于在所有情況下的安裝

集成型高效冷卻

穩(wěn)固且性能強大的渦輪泵，具備用于 N2直至的 790 l/s 的吸氣能力

較少耗能下較大真空性能